一种用于固态磷扩散的石英推拉舟.pdfVIP

下载本文档

2
0
约7.14千字
约 7页
2023-03-04 发布于四川
举报
版权申诉

一种用于固态磷扩散的石英推拉舟.pdf

1、本文档共7页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种用于固态磷扩散的石英推拉舟，涉及固态磷扩散技术领域。本实用新型包括一组竖板、一组定位梁和一组侧梁，一组竖板之间的下部固定有一组平行设置的支撑梁，竖板一表面上部的两侧均开设有第一滑槽。本实用新型通过一组定位梁上限位槽的配合能够预先限制硅片和源片的位置，在限制完毕后通过可调节的侧梁能够为硅片和源片的侧边施加一定的挤压力从而限制硅片和源片的位置，在侧梁固定硅片和源片后将定位梁拆除，保证支撑处与硅片和源片之间的接触点两侧都通过斜槽暴露在外，解决了现有的石英舟使用卡槽限制和固定硅片和源

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213150797 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202022376513.6 (22)申请日 2020.10.23 (73)专利权人江苏东鋆光伏科技有限公司