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一种半导体自动寻边定位装置.pdfVIP

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  • 2023-03-05 发布于北京
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一种半导体自动寻边定位装置.pdf

    本实用新型提供一种半导体自动寻边定位装置，包括底座，用于支撑整个装置；夹具模组，设置在所述底座上，用于支撑固定半导体；定位模组，设置在所述底座上，用于移动所述夹具模组；传感器模组，设置在所述底座上，用于检测所述半导体位置；控制模组，设置在所述底座上，用于控制所述定位模组和所述夹具模组。本实用新型的有益效果是有效的解决机械手无法固定硅片的方向，转移到另一载台上时会产生硅片定位不精确、偏心或缺口方向不固定以及装置只能对应一种型号硅片且需要人手动操作、不能精准的确定硅片的中心点和缺口位置，普通传感器对

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212137 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022530841.7 (22)申请日 2020.11.05 (73)专利权人 天

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