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本实用新型公开一种等离子装备,等离子装备包括第一壳体、等离子发射组件和物质源动力组件,第一壳体,具有等离子发射口和与等离子发射口连通的第一通道。物质源动力组件具有用于进气的进气口,设于第一壳体。等离子发射组件设于第一壳体,用于将第一通道内的气体电离成等离子流。物质源动力组件驱动电离后的第一通道内的气体向等离子发射口释放。上述方案解决等离子装备的工作所需条件复杂的技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213305835 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021789790.3
(22)申请日 2020.08.24
(73)专利权人 深圳市昊擎科技有限公司
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