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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型涉及一种快速清理石墨发热棒的装置,属于CVD设备技术领域。装置包括主体和带状刀具,主体包括2个环体,环体为半圆筒形,2个环体活动连接,带状道具设置于主体一端。本实用新型可以针对石墨发热棒进行快速的清理,同时又不会伤害石墨发热棒,减少人力,提高效率,提高产品良品率及合格率,满足生产需求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213287759 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021762022.9
(22)申请日 2020.08.21
(73)专利权人 山东国晶新材料有限公司
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