真空室.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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本实用新型公开一种真空室,包括筛板和真空泵,筛板设置在真空泵的吸气口处,筛板包括边框和筛板本体,筛板本体设置在边框的内侧,筛板本体在边框的内侧构建形成若干通道,每个通道内的路径均呈曲折状态。本实用新型真空室的筛板除了具有常规的防护功能,即能够防止较大体积的物体落入真空泵内部之外,通过对筛板本体进行特殊的结构设计,使筛板本体在边框的内侧构建形成若干通道,且每个通道内的路径均呈曲折状态,当被吸入真空泵的微粒与真空泵内部的叶片碰撞而反弹回筛板本体上后,该微粒很难沿着曲折的路径反向通过筛板本体,从而实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213304065 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202022680253.1 (22)申请日 2020.11.18 (73)专利权人 乐金显示光电科技(中国)有限公

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