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一种高纯钨坯体制备系统.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种高纯钨坯体制备系统.pdf

    本实用新型属于化工生产技术领域，具体涉及一种高纯钨坯体制备系统，本高纯钨坯体制备系统包括：六氟化钨制备机构和钨坯体制备机构；其中所述六氟化钨制备机构适于从原料中制备出六氟化钨，并投放至所述钨坯体制备机构；以及所述钨坯体制备机构适于从六氟化钨中制备出高纯钨坯体；本实用新型通过制备六氟化钨作为中间产物，存量较少，过程中全部消耗掉，无残留，不涉及运输和长期大量存储，满足安全、无污染工业生产需求，并且生成的钨在钨坯体制备机构中反应容器基底表面不断累积形成一定尺寸的高纯钨坯体，实现了一体化生产的功能，达到

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327763 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022193448.3 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 亚芯半导体材料（江苏）有限公司

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