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第三章电容式传感器应用 第1页，共20页。 非电量电测技术 自动平衡电桥电路 第三章???????电容式传感器 第2页，共20页。 第三章???????电容式传感器 3-4 电容式传感器的应用举例 1.电容式压力传感器 非电量电测技术 结构：金属弹性膜片—动片；两个玻璃球面上镀有金属模片；膜片左右两侧充满硅油。 工作过程：当两室分别承受低压PL和高压PH时，硅油能将压差传递到测量膜片 当PH=PL时，膜片处于中间位置，C1=C2； 当有差压作用时，测量膜片产生形变： PH PL时，膜片PL向弯曲，C1C2， PH PL时，膜片PH向弯曲，C1C2； 前极电路将这种电容变化通过电路转换， 变为电压或电流的变化 电容传感器 盒膜片结构 第3页，共20页。 3-4 电容式传感器的应用举例 1.电容式压力传感器 非电量电测技术 第三章??????? 电容式传感器 工业生产流程自动控制中膜片式压力计是常用的一种，电容膜片压力传感器分两种： 计示压力计（表压），以大气为基准，测管道、箱内、罐中压力； 绝对压力计，以绝对真空为基准测量蒸发罐、反应罐中的压力； 压差计，测两个压力的差值。 传感器 基准 接大气 低压阀 高压阀 选通阀 管道 传感器 接真空 低压阀 高压阀 管道 反应罐 第4页，共20