电容式传感器测量电路.pptVIP

(2) 容栅传感器电极的结构形式 （a）直电极反射式 （b）直电极透射式 （c）反射式L型电极 第63页，共71页。 (a)直电极反射式 结构形式简单，使用方便， 移动过程中，导轨的误差对测量精度影响较大 第64页，共71页。 (b)直电极透射式 测量调整方便、安装误差和运行误差的影响降低、制造安装困难 第65页，共71页。 高频等效电路 电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略 ，其中C=C0+Cp，而re≈r re C L 第31页，共71页。 由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫， 容抗仍很大，而R很小可以忽略，因此 此时电容传感器的等效灵敏度为 当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由kg变为ke，ke与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，且随ω变化而变化。 第32页，共71页。 3.4 电容式传感器 3.4.1 电容式传感器的工作原理 3.4.2 电容式传感器主要性能 3.4.3 电容式传感器的特点和设计要点 3.4.4 电容式传感器等效电路 3.4.5 电容式传感器测量电路 3.4.6 电容式传感器的应用 3.4.7 容栅式传感器 第33页，共71页。 3.4.5 电容式传感器测量电路 (1) 电桥电路 (2) 运算放大器电路 (3) 脉宽调制电路 (4) 调频电路 (5) 双T型电桥