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RENA前后清洗工艺培训

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太阳能电池的种类及效率

前清洗（制绒)

扩散

PECVDSiNx

后清洗（刻边/去PSG)

丝网印刷/烧结/测试

制造太阳能电池的基本工艺流程

RENA清洗设备

注:前、后清洗设备外观相同，内部构造和作用原理稍有不同

一、RENAIntex前清洗工艺培训

制绒的目与原理

根据工艺方法不同，制绒可分为碱制绒（仅适用于单晶硅制绒)和酸制绒（可用于单晶和多晶硅表面的制绒)。RENA设备为酸制绒设备，其目的主要有：

1.去除硅片表面的机械损伤层

2.清除表面油污和金属杂质

3.形成起伏不平的绒面，减少光的反射，增加硅片对太阳光的

吸收，增加PN结的面积，提高短路电流（Isc)，最终提高电

池的光电转换效率。

酸制绒后表面呈蜂窝状,如下图所示。

单晶硅片酸制绒绒面形状

陷光原理图

当入射光入射到一定角度的斜面,光会反射到另一角度的斜面形成二次吸收或者多次吸收,从而增加吸收率。

酸制绒工艺涉及的反应方程式:

HNO3+Si=SiO2+NOx↑+H2O

SiO2+4HF=SiF4+2H2O

SiF4+2HF=H2[SiF6]

NO2+H2O=HNO3+HNO2

Si+H