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一种半导体芯片生产用浸没式光刻机.pdfVIP

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  • 2023-03-10 发布于北京
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一种半导体芯片生产用浸没式光刻机.pdf

    本实用新型属于光刻机技术领域，具体为一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括有操作台，所述操作台的两侧分别安装有升降机，所述升降机的顶端连接有轨架，所述轨架上安装有移动机，所述移动机的底部设有动力泵，所述动力泵的两端分别连接有连接块，所述连接块的内部设有缓冲弹簧。本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：通过动力泵、缓冲弹簧和压力感应器，使动力泵可以对硅片进行夹持，而缓冲弹簧防止用力过度对硅片造成损伤，同时压力感应器检测固定力度，避免过度施力，从而提高了装置的安全性，另外移动机可以带动硅片运

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213409535 U (45)授权公告日 2021.06.11 (21)申请号 202021680071.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2

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