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长条形多孔显影液喷嘴装置.pdfVIP

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  • 2023-03-11 发布于四川
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长条形多孔显影液喷嘴装置.pdf

    本实用新型公开了一种长条形多孔显影液喷嘴装置，包括：第一支架，长条形分配管，多个显影液喷嘴，多个清洗气体喷嘴；长条形分配管设置在第一支架上；显影液喷嘴设置在长条形分配管的底部，显影液从长条形分配管均匀分配到各显影液喷嘴中喷出；各清洗气体喷嘴对准各显影液喷嘴的侧面，清洗气体从清洗气体喷嘴喷出以去除显影液喷嘴的侧面上残留的显影液。本实用新型能防止显影液喷涂后在显影液喷嘴的侧面产生显影液残留并进而防止显影液偷滴到晶圆表面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213457649 U (45)授权公告日 2021.06.15 (21)申请号 202022517444.6 (22)申请日 2020.11.04 (73)专利权人 上海华力集成电路制造有限公司

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