一种半导体器件用运输装置.pdfVIP

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  • 2023-03-12 发布于四川
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本实用新型公开了一种半导体器件用运输装置,涉及半导体运输设备技术领域,包括机架,所述机架底部四角分别设有万向轮,机架顶部设有承载台,所述承载台顶面上开设有若干用于置入半导体器件的安置槽,所述安置槽内设有一层缓冲垫,且缓冲垫底部与安置槽内底部之间连接有弹性件;所述承载台上方设有压合台,所述压合台的四角通过升降气缸与机架连接,压合台的底面上设有若干与安置槽上下对应的吸盘,当压合台随升降气缸下降与承载台贴合时,吸盘可进至安置槽内,所述压合台为中空结构,各吸盘均与压合台的内腔连通,压合台的上方设有可将压

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213502402 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202022192097.4 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人 扬州泽旭电子科技有限责任公司

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