采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统.pdf

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一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上，即平台底座的一部分跨过X轴工作机构，从而与Y轴工作机构的某一部位连接。本实用新型提出的跨层连接叠层结构用跨层交叉连接方式取代了中间层转接基座的作用，能够有效减小平台厚度和质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213483420 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022330944.9 (22)申请日 2020.10.19 (73)专利权人中国科学院微电子研究所