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一种集成电路电源网络层结构.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种集成电路电源网络层结构.pdf

    本实用新型公开了一种集成电路电源网络层结构，包括高层金属层、过渡层和介电层，所述高层金属层通过过渡层与单元管脚耦接，还包括堆叠通孔，由若干个子通孔依次堆叠而成；过渡层包括横向金属过渡层和纵向金属过渡层；高层金属层、横向金属过渡层、纵向金属过渡层依次堆叠设置，且三者之间的间隙充满有介电层；所述高层金属层沿第一方向布设；横向金属过渡层沿第二方向布设，纵向金属过渡层沿第一方向布设；所述堆叠通孔设置于纵向金属过渡层与单元管脚之间。通过堆叠通孔取代了传统布线方式中的大量交叉布设的低层金属线，节约了布线资源

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218602427 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222127988.0 (22)申请日 2022.08.13 (73)专利权人 上海盈方微电子有限公司 地址 2

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