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Micro-LED阵列显示器件制备及光电特性研究共3篇 Micro-LED阵列显示器件制备及光电特性研究1 Micro-LED阵列显示器件是一种新型的发光器件，因其高亮度、高色彩度、低能耗等优点，备受关注。此类器件的制备和光电特性研究对于发展微纳电子技术和应用领域具有重要意义。一、制备技术Micro-LED的制备涉及多个工艺步骤，包括晶片生长、结构分离、加工修饰等。其中，晶片生长是关键的一步。目前，主要有以下生长技术：1.气相生长技术：利用金属有机化合物（如ME，TMGa等）与氢气反应，生成金属气体，将其输送到晶片表面，与氮化物反应形成Micro-LED晶片。该技术具有晶体质量好、