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一种用于环切的晶圆载台.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种用于环切的晶圆载台.pdf

    本实用新型公开的用于环切的晶圆载台，包括贴膜平台，贴膜平台上设置环切时与环切刀对应的环切槽。贴膜平台上设置环切槽，能够使得在对BG膜进行圆切时，环切刀与贴膜平台之间不会发生碰撞。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218602406 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202221659688.0 (22)申请日 2022.06.30 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司 地址

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