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一种台车快速降温设备.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种台车快速降温设备.pdf

    本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种台车快速降温设备，包括溅镀线体、升降机、冷却隧道、和冷却组件，所述溅镀线体包括缓冲腔体、转接腔体和镀区腔体；所述冷却隧道设置在溅镀线体的下方；所述升降机设置在溅镀线体的两个端头处，所述升降机对应的升起与落下高度，与缓冲腔体和冷却隧道的高度匹配；所述冷却组件通过风机连接管路接入冷却隧道中，所述溅镀线体和冷却隧道中均设置有用于运输产品台车的传送机构；采用本实用新型，隧道式罩体封闭，保证冷却过程的防尘防污的同时，可以增加风冷过程的风速，提高风冷效率，隐

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570722 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202021897068.1 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人 柏霆（苏州）光电科技有限公司

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