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- 2023-03-14 发布于四川
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一种新型微型音叉晶体谐振器晶圆片，包括底座及二个从底座同侧平行延伸的音叉谐振臂，所述音叉谐振臂的末端设置有激光调频区，所述激光调频区包括水晶基体和位于水晶基体上的电极部，其特征在于：所述音叉臂电极部包括左侧电极部和右侧加重层电极部，所述左侧电极部包括分列水晶基体正、反两面的双层镀层电极，所述右侧加重层电极部包括位于水晶基体反面的双层镀层电极和加重层，所述加重层位于双层镀层电极的下方。本实用新型结构简单、成本低、能有效提高调频效果，提高加工效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213585719 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202021969467.4
(22)申请日 2020.09.10
(73)专利权人 泰晶科技股份有限公司
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