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- 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型涉及芯片制造技术领域，具体为一种便于集成电路芯片制造的制造装置，包括底板，底板顶部四角设有四个支撑柱，支撑柱顶部间连有放置架，放置架左侧设有侧限位板，后侧设有后限位板，右侧设有固定板，固定板上滑动连有多个导向杆，导向杆左端连有夹持板，夹持板前侧设有导向板，导向杆外侧套有夹紧弹簧，底板顶部设有安装座，安装座前侧安有两个夹持缸，夹持缸活塞杆末端间设有夹紧杆。该便于集成电路芯片制造的制造装置，通过夹持缸带动连接板和夹紧杆向后移动，由夹紧杆将半导体单晶片向后推动，同时通过夹紧弹簧将半导体单晶片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213546277 U
(45)授权公告日 2021.06.25
(21)申请号 202120054554.5
(22)申请日 2021.01.11
(73)专利权人 山东爱克斯电子科技有限公司
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