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一种真空腔体超低温水汽吸附系统.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种真空腔体超低温水汽吸附系统.pdf

    本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空腔体超低温水汽吸附系统，包括溅镀线体和吸附组件，所述溅镀线体根据溅镀工艺，依次设置腔体闸门、粗抽腔体、高真空腔体、进料缓冲腔体、转接腔体、镀区腔体和出料缓冲腔体；所述吸附组件包括冷媒入口端、冷媒出口端、高真空段冷媒管和溅镀段冷媒管；采用本实用新型，高真空腔体中的高真空冷媒管进行初步吸附，再配合多腔体延伸溅镀段冷媒管的高效吸附水气，实现双重回流管路，同一冷媒源，实现高效利用，提高水气吸附效率；冷媒出入口的位置优化，也进一步的提高优先吸附能力，保

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570711 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022033400.6 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人 柏霆（苏州）光电科技有限公司

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