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- 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，包括底座，所述底座的上表面活动连接有活动板，所述活动板的上表面滑动连接有扩张板；第一夹持机构，所述第一夹持机构包括第一弹簧，且第一弹簧与扩张板固定连接有，所述第一弹簧远离扩张板的一端固定连接有托板，所述托板的侧表面固定连接有夹紧板；第二夹持机构，所述第二夹持机构包括扩张挤压块，且扩张挤压块与扩张板固定连接，所述扩张挤压块的上表面设置有吸盘。通过上述结构，可对静电吸盘喷涂进行内外固定，从而提高了静电吸盘喷涂的紧固性。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218590858 U
(45)授权公告日 2023.03.10
(21)申请号 202221712793.6
(22)申请日 2022.07.05
(73)专利权人 苏州合志杰新材料技术有限公司
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