一种晶圆机械减薄用边缘处理装置.pdfVIP

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2023-03-16 发布于四川
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一种晶圆机械减薄用边缘处理装置.pdf

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本实用新型公开一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，包括滑轨，所述滑轨外壁套接有固定滑块，且固定滑块通过螺栓与滑轨紧固连接，所述固定滑块上端固定连接有锯齿外螺纹套柱装置，所述锯齿外螺纹套柱装置包括固定底座、外螺纹固定套柱和锯齿柱，所述固定底座上端固定连接有外螺纹固定套柱，通过对固定螺帽、锯齿外螺纹套柱装置和可调式支撑杆装置进行操作，就可以进行角度调节工作，同时通过对可调式支撑杆装置进行操作以及对滑轨和固定滑块进行操作，就可以进行高度调节工作和位置调节，从而在使用的过程中，就会避免对晶圆造成损坏，并且整

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213615890 U (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202022883239.1 (22)申请日 2020.12.03 (73)专利权人新郑市宝德高技术有限公司