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背极板结构、MEMS传感器和电子设备.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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背极板结构、MEMS传感器和电子设备.pdf

    本实用新型公开一种背极板结构、MEMS传感器和电子设备。其中，该背极板结构包括：第一绝缘层；导电层，所述导电层覆盖于所述第一绝缘层的表面，所述导电层面向所述第一绝缘层的一侧设有凸起结构，所述凸起结构穿设于所述第一绝缘层；以及第二绝缘层，所述第二绝缘层覆盖于所述导电层背对所述第一绝缘层的一侧。本实用新型技术方案的背极板结构能够避免出现导电层短路、失效的现象。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213694153 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023090937.2 (22)申请日 2020.12.18 (73)专利权人 青岛歌尔智能传感器有限公司

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