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一种用于检测晶圆切割环粗糙度的检测装置.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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一种用于检测晶圆切割环粗糙度的检测装置.pdf

    本实用新型涉及一种用于检测晶圆切割环粗糙度的检测装置，包括检测组件和输送装置，输送装置设置在检测组件下方且位于置物台上，输送装置包括定位组件和驱动组件，两组定位组件设置在置物台两侧，两组驱动组件设置在定位组件侧面，定位组件包括第一气缸和压板，压板设置在第一气缸的伸缩杆上，伸缩杆竖直设置，驱动组件包括第二气缸，定位板和滑块，所述滑块与水平螺杆螺纹连接，水平螺杆与驱动电机连接，所述第二气缸设置在滑块上且与定位板连接。本实用新型能够实现粗糙度测量仪在水平、竖直方向的调节和移动，能够适用于不同尺寸及类型

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213688301 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202023155590.5 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 苏州恩斯贝格精密机械有限公司

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