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纳米压痕 (Nanoindentation) (又称深度敏感压痕 :Depth Sensing Indentation)技术 是 几年发展起来的一种新技术 ［1 — 2］。它可以在不用分离薄膜与基底材料 的情况下直接得 到薄膜材料的许多力学性质。例如：弹性模量、硬度 、屈服强度、加工硬化指数等等 3［-4］。 在微 电子科学，表面喷涂,磁记录 以及薄膜等相关的材料科学领域得到越来越广泛 的应用 。 纳 米 压 痕 技 术 (英 ：Nanoindentation)，也称深度敏感压痕技术 (英 ： Depth-Sensing Indentation, DSI), 是最简单的测试