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外接式光阻剂供应装置.pdfVIP

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  • 2023-03-20 发布于四川
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外接式光阻剂供应装置.pdf

    本实用新型提供了一种外接式光阻剂供应装置，包括箱体以及安装在箱体中的光阻剂供应部和控制电路，光阻剂供应部包括连接光阻剂存储装置的进料管道，连接光刻涂胶设备的出料管道，以及进料管道和出料管道之间的供液泵，进料管道还设置有过滤器，控制电路的输入端电连接光刻涂胶设备的信号输出接口，输出端电连接供液泵，用于响应光刻涂胶设备的信号的供液信号和停止信号控制供液泵提供光阻剂。该外接式光阻剂供应装置不影响设备的原有管路，能够作为扩展装置广泛地兼容于光刻涂胶设备；实现产品快速切换，提高生产效率；实现离线清洗，不影

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218647303 U (45)授权公告日 2023.03.17 (21)申请号 202222850322.8 (22)申请日 2022.10.27 (73)专利权人 上海积塔半导体有限公司 地址 2

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