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一种分光机转塔机构.pdfVIP

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  • 2023-03-20 发布于四川
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一种分光机转塔机构.pdf

    本实用新型公开了一种分光机转塔机构，包括转塔机构基板及安装在转塔机构基板上的旋转载板，转塔机构基板底部设置有旋转驱动模组，旋转载板安装在旋转驱动模组的输出端，旋转驱动模组用于驱动旋转载板转动，旋转载板为圆形载板且其周沿均匀设置有多个用于吸附芯片的负压吸附开口，转塔机构基板和或旋转载板上设置有气流通道且气流通道与所述负压吸附开口连通，还包括设置在旋转载板外周沿的开口动密封板，所述开口动密封板固定在转塔机构基板上，开口动密封板上部设置有载板限位板，载板限位板用于将旋转载板限位在转塔机构基板上对应的安

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218637972 U (45)授权公告日 2023.03.17 (21)申请号 202222850533.1 (22)申请日 2022.10.26 (73)专利权人 深圳市泰克光电科技有限公司 地址

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