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用于晶圆检查的简易平台装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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用于晶圆检查的简易平台装置.pdf

    本申请涉及一种用于晶圆检查的简易平台装置，包括：底座，底座上设置有导向杆；移动组件，设置在导向杆上且沿导向杆移动；锁紧组件，用以将移动组件与导向杆固定；检测相机，与移动组件转动连接；移动组件包括套设在导向杆上的导套，导套上开设有锁定孔，锁紧组件与锁定孔连接进而与导向杆抵持，以将移动组件与导向杆固定。通过设置有移动组件及锁紧组件，移动组件与检测相机连接，以使得移动组件移动继而带动检测相机移动，从而调节检测相机与待测目标之间的距离，提高检测效果；锁紧组件用以将移动组件固定，从而便于测量，更为快捷方便

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213957170 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023153949.5 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 苏州工业园区汇光科技有限公司

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