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半导体工艺设备及其托盘旋转机构的检测装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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半导体工艺设备及其托盘旋转机构的检测装置.pdf

    本申请提供一种半导体工艺设备及其托盘旋转机构的检测装置，盘旋转机构包括旋转轴、旋转臂和连接件，连接件连接旋转轴和旋转臂，旋转轴带动旋转臂旋转，旋转臂带动托盘旋转，检测装置包括第一检测件和第二检测件，第一检测件固定设置在旋转轴和旋转臂两者中的一者上，第二检测件固定设置在旋转轴和旋转臂两者中的另一者上，第一检测件和第二检测件相对设置，用于配合检测旋转轴和旋转臂的旋转同步性。应用本申请能够检测托盘旋转机构各旋转部件的同步性，确认遮挡盘是否到达静电卡盘的正上方。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958919 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023157471.3 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 北京北方华创微电子装备有限公

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