原创力文档- 1
- 0
- 约7.58千字
- 约 8页
- 2023-03-27 发布于四川
- 举报
本实用新型提供了一种卸载闭锁室，包含：腔室，所述腔室用于容置晶圆放置槽，所述腔室具有相对设置的第一腔壁和第二腔壁；气体入口，所述气体入口位于所述第一腔壁处；泄压装置，所述泄压装置位于所述第二腔壁处。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：将气体入口和泄压装置分别布置在相对的第一腔壁和第二腔壁，气体的流动方向为从气体入口指向泄压装置，没有回流绕流等情形，避免了颗粒被带动后掉落到晶圆上，而颗粒会随着气流流向泄压装置排出到腔体外，从而减少了晶圆表面颗粒缺陷产生，提升了产品的良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213958920 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202023179585.8
(22)申请日 2020.12.25
(73)专利权人 上海华力微电子有限公司
您可能关注的文档
- 一种智能化工程检测工具.pdf
- 侧滑台连杆结构.pdf
- 一种机电工程设备用安装底座.pdf
- 一种精细无纺布打包装置.pdf
- 一种双驱动摆臂装置.pdf
- 一种烟株定穴器.pdf
- 一种PET氧化铝膜卷料保护装置.pdf
- 一种便于拆装固定的执法记录仪.pdf
- 一种印刷电路板结构.pdf
- 一种基于云计算的数据存储装置.pdf
- SVW标准-汽车底板电焊操作及检验指导图ub1 afo390_right worker-2 document.ppt
- SVW标准-汽车底板电焊操作及检验指导图ub1 afo400 stud robot document.ppt
- SVW标准-汽车底板电焊操作及检验指导图ub1 afo300 robot document.ppt
- SVW标准-大众产品图纸 成焊宝玛.ppt
- SVW标准-SK371&461底板1项目二维图制作成焊宝玛.ppt
- 《实验诊断学》教学PPT课件-血液学检查(2).pptx
- 《医学免疫学》国家精品课程课件PPT-491页完整版.ppt
- 采用双舵机实现综合寻迹的研究与实现.doc
- SVW标准-机械二维图30D Grippe 20-30D_319945_02.pdf
- 综合教程(第3版)第5册何兆熊7-8习题答案解析.pdf
最近下载
- 2025人教版八年级上册英语 Unit 4 Amazing Plants and Animals 第1课时教案.pdf VIP
- 6 海洋生物学第四章 海洋真菌.pptx
- 一种道路基层材料及其制备方法.pdf VIP
- 洛神赋-带拼音直接打印版-带全文注音、译文、注释.pdf VIP
- SID-2SJ数字式同步检查继电器中文技术说明书_V1.01.pdf VIP
- 1营销公告油车-中国大学生方程式汽车大赛成绩公告（竞赛类.PDF VIP
- GB_T 51422-2021 建筑金属板围护系统检测鉴定及加固技术标准.docx VIP
- 2026年《中国心血管健康与疾病报告》.docx
- 西餐服务 PPT（中职）完整全套教学课件.pptx
- SID-2SL-A(B)中文技术及使用说明书_V4.01.pdf VIP
文档评论（0）