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一种多功能离子注入机.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种多功能离子注入机.pdf

    本实用新型公开了一种多功能离子注入机，包括底座、加压泵和引出电极，底座的顶部一侧设有电箱，电箱的顶部设有第一真空泵，第一真空泵的一侧设有抽气管，抽气泵的另一端设有冷却箱，冷却箱通过设有的安装螺丝固定安装于底座的顶部中间位置，冷却箱的内部设有冷却罐，冷却罐的底部固定安装于冷却箱内，冷却罐的底端外周设有冷却管，冷却管与冷却罐的外周固定接触。本实用新型通过设有的冷却箱、冷却罐和冷却管，实现在加压时，对加压气体的冷却，使得空气中的分子结构失去活性，在热胀冷缩的作用下，实现对加压气体的体积缩小，达到更好的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213951333 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023238258.5 (22)申请日 2020.12.29 (73)专利权人 丹东安顺微电子有限公司

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