原创力文档- 0
- 0
- 约9.31千字
- 约 8页
- 2023-03-28 发布于北京
- 举报
本实用新型属于腐蚀加工设备技术领域，尤其为一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机，包括工作板，所述工作板的表面固定连接有腐蚀架，所述腐蚀架的一侧通过固定块固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端贯穿腐蚀架通过轴承转动连接腐蚀架的一侧内壁。本实用新型通过手动转动螺栓利用夹板对晶片进行夹紧固定，通过启动第一电机带动螺纹块移动，从而将往复运动装置移动至腐蚀液池的上方，启动气缸对往复运动装置的高度进行调节，利用往复运动装置将晶片放至腐蚀液池中进行往复运动，对晶片腐蚀作业，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213977960 U
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202021208804.8
(22)申请日 2020.06.24
(73)专利权人 常州光晶光电科技有限公司
文档评论（0）