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大连理工大学科技成果汇编 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 硅片传输机器人 2 海洋结构物重量控制技术分析软件系统 2 激光—氩弧复合热源焊接装备 3 微流控芯片通道成形与自动对准装配系统 5 喷雾干燥—干粉活化大倍率循环烟气脱硫技术 6 建筑能耗监测与节能诊断系统 7 能源在线监控、诊断与管理信息系统 8 竖管降膜型低温多效海水淡化及其相关技术和设备 8 新型余热制冷机 9 中低压余汽回收热泵系统 10  硅片传输机器人 一、项目简介： 硅片传输机器人是集成电路（IC）制造装备中的重要设备，也是IC制造装备中的关键技术。本硅片传输机器人的特点是高精度、高速度、高洁净，可满足半导体制造业中高精度、高净化的环境要求，控制系统采用基于PC平台、具有开放式体系结构和网络功能的机器人控制器。硅片传输机器人的技术指标已达到国外同类产品的水平。 该技术目开发的硅片传输机器人系列化产品为极坐标型机器人（R-θ型径向直线运动机器人)，由单臂型机器人和双臂型机器人二个系列产品组成。R-θ型硅片传输机器人有3个运动范围，分别为R轴（径向)、θ轴（旋转）和Z轴（升降)，末端执行器可自动翻转。R轴、θ轴、Z轴分别为交流伺服电机驱动，末端执行器为翻转气缸驱动，抓取工件为真空吸附。硅片夹持范围为 100mm- 300mm，负载为