一种晶圆加工效率高的显影装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种晶圆加工效率高的显影装置,包括底座,所述底座顶部中心焊接搅拌箱,所述搅拌箱顶部中心与固定块一端固定连接,所述固定块另一端固定连接十字固定架,所述十字固定架一侧固定连接第一原料罐,所述搅拌箱顶部一侧设有第一进料口,所述第一进料口另一端与所述第一原料罐一端相通,所述第一进料口上设有第一阀门,所述十字固定架另一侧固定连接第二原料罐,所述搅拌箱顶部另一侧设有第二进料口,所述第二进料口另一端与所述第二原料罐一端相通,所述第二进料口上设有第二阀门,本实用新型一种晶圆加工效率高的显影装置,解决了目前装置支

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214042009 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202023057290.3 (22)申请日 2020.12.16 (73)专利权人 广州市鸿浩光电半导体有限公司

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