超光滑表面加工技术.pptVIP

*长春理工大学本科毕业论文 Sr2Si5N8:Eu2+荧光粉的制备与发光性能 *长春理工大学本科毕业论文 Sr2Si5N8:Eu2+荧光粉的制备与发光性能 超光滑表面加工技术 学生姓名: 魏宇峰 专 业: 无机非金属材料工程 指导教师：张希艳 第一页，共三十一页。 主要内容 简述 一 超光滑表面加工技术 二 超光滑表面检测技术 三 第二页，共三十一页。 简述 近年来，空间光学、X射线学、紫外光学以及磁记录、光学记录、超大规模集成电路等领域的发展，对上述光学系统的光学元件提出了极精确面型和超光滑表面的加工要求，其表面粗糙度在纳米级。 通常把粗糙度为纳米级的表面称为超光滑表面。超光滑表面加工技术，即超光滑抛光，相当于原子、分子水平上的加工。 第三页，共三十一页。 软X射线光学系统 空间光学（天文望远镜） 强激光系统（谐振腔反射镜面） 集成电路基板 大容量光盘 磁头加工 超光滑光学元件可用于的高科技领域 简述 第四页，共三十一页。  超光滑表面抛光机理 1.机械磨削去除材料 2.物理碰撞方法去除材料原子 3.化学方法去除工件表面原子 实际上，超光滑表面抛光过程，材料去