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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型提供了一种芯片抛光装置，属于芯片抛光技术领域。该芯片抛光装置包括：安装机构以及流量控制机构，其中，安装箱内部具有腔体，真空泵安装于腔体，固定台设置有安装孔，真空泵的输出端与安装孔连通，水箱安装于腔体，引流管具有通道，通道与水箱连通，引流管贯穿安装箱，抛光件的一端安装于安装箱，抛光件的另一端能够与固定台抵接，按压块的一端与推杆连接，推杆的一端贯穿引流管，第一弹性件套设于推杆，第一弹性件的一端与推杆连接，第一弹性件的另一端与引流管抵接，止水栓安装于通道，止水杆的一端贯穿止水栓，止水杆的另一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214080781 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022781467.8
(22)申请日 2020.11.26
(73)专利权人 南京辰芯科技有限公司
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