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半导体晶圆除尘清洗机.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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半导体晶圆除尘清洗机.pdf

    本实用新型公开了半导体晶圆除尘清洗机，包括：箱体，所述箱体的顶部转动设置有盖子；储水箱，所述储水箱位于箱体的一侧；转动结构，所述转动结构位于箱体的内部，所述转动结构包括第一转轴、第一齿轮、第二转轴和第二齿轮。本实用新型可以将多个半导体晶圆放在支撑盘上，再通过转动调节螺栓即可使挤压板对半导体晶圆进行固定，可同时对多个半导体晶圆进行清洗，还在第一转轴和第二转轴的端部分别固定套接有第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮同时分别与两个第二齿轮进行啮合连接，所以通过转动电机能够带动第一转轴转动，能够同时带动两个第二

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214078171 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023064854.6 (22)申请日 2020.12.17 (73)专利权人 联物科技实业无锡有限公司

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