一种MEMS气体传感器芯片的封装结构.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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本申请公开了一种MEMS气体传感器芯片的封装结构,该封装结构借助于两个PCB板,将气体传感器芯片的第一芯片和第二芯片分别贴装于两个独立的PCB板上,在PCB板层面即可完成第一芯片和第二芯片的电阻配对工作,同时降低了封装成本,也可以方便地转移至塑料或金属基座,进而加装防爆外壳和放水透气膜,解决了现有技术中的封装结构的配对误差大,封装成本高,以及在贴装之后,无法进行二次更换的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214087704 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023231156.0 B81B 7/02 (2006.01)

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