一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头.pdfVIP

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2023-04-04 发布于四川
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一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头.pdf

本实用新型公开了一种新型24路‑3位面‑柱面激光PDV探头，包括24路光纤准直器，24路光纤准直器均分为3组光纤准直器组，任意两组光纤准直器组的出光面均错位排开，每路光纤准直器的出光处均通过支架连接45°棱镜，每路光纤准直器出射的光经45°棱镜反射后相互平行；采用24路，3位面探头设计，实现光纤探头的集成化、多点探测、以及小型化，能够全方位、快速的检测目标，并传输数据；采用45°棱镜实现光路折转，实现器件内部形貌的测量；避免了直接与被测器件表面接触，又可以得到表面轮廓。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214095941 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023228370.0 (22)申请日 2020.12.28 (73)专利权人西安飞秒光纤技术有限公司

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