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一种MEMS惯性传感器测试装置.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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一种MEMS惯性传感器测试装置.pdf

    本实用新型提供了一种MEMS惯性传感器测试装置，该MEMS惯性传感器测试装置包括：测试装置本体，以及压力调节装置；所述测试装置本体包括测试座、开设在所述测试座上的测试腔、以及与所述测试座固定连接的多根测试探针；其中，每根所述测试探针均贯穿所述测试座；所述压力调节装置包括与所述测试座固定连接的调节座、与所述调节座转动连接的多根第一转杆、以及与所述转杆螺纹连接的压板；其中，所述压板位于所述测试座的上方，且每根所述转杆均贯穿所述测试座。本实用新型的有益效果是：通过设置的测试装置本体，可以达到对MEMS

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215447957 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121446186.5 (22)申请日 2021.06.28 (73)专利权人 北京信息科技大学 地

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