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MEMS声传感器.pdfVIP

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  • 2023-04-07 发布于北京
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MEMS声传感器.pdf

    本实用新型提供了一种MEMS声传感器，其包括具有背腔的基底以及固定于所述基底的电容系统，所述电容系统包括振膜及与所述振膜间隔设置以形成电容的背极板，所述电容包括第一电容和第二电容，所述背极板正对所述背腔的区域上贯穿设有多个通孔，所述振膜包括与所述背极板相对且间隔设置以形成所述第一电容的主体部及多个自所述主体部凹陷形成的梳齿部,所述梳齿部插入所述通孔并与所述通孔的内壁间隔设置以形成所述第二电容。与相关技术相比，本实用新型的MEMS声传感器在兼顾较大电容值的同时还解决了电容变化量小及信号弱的问题，从

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215453269 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121482471.2 (22)申请日 2021.06.30 (73)专利权人 瑞声声学科技（深圳）有限公司

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