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- 2023-04-16 发布于江苏
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有机氟工业
2015 3
年第 期 Organo - Fluorine Industry ·49 ·
俄罗斯六氟丁二烯的合成工艺进展
宋敏彦 吴君毅
( , 海200241)
上海三爱富新材料股份有限公司 上
: , 。 1,2 ,3 ,4 -
摘 要 六氟丁二烯是一种新型蚀刻气体 介绍了俄罗斯六氟丁二烯的合成工艺 俄罗斯主要以 四氯六氟丁
, 。
烷和三氟氯乙烯为原料合成六氟丁二烯 简要介绍了六氟丁二烯在俄罗斯的市场情况
: ; ; ;
关键词 六氟丁二烯 合成工艺 俄
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