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一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置.pdf

    本实用新型涉及光刻机领域，尤其是涉及一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置，包括降温箱和铰接在降温箱一侧外壁的箱门，所述降温箱的顶部外壁安装有安装架，且安装架中安装有气泵，所述气泵的输出端连接有连接管，且连接管的另一端连接有收集结构，所述降温箱的两侧外壁均连接有进气组件，所述箱门靠近降温箱的一侧外壁焊接有密封圈，且气泵的输入端与降温箱内部连通。本实用新型降温箱内部的液氦会向上飘，降温箱两边的进气组件将过滤后的空气带入降温箱中，收集后的混合气体，通过提纯后进行再次使用，相比于传统方式，有利于提高氦

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215654342 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122136889.4 (22)申请日 2021.09.06 (73)专利权人 苏州咏昕恒能源科技有限公司

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