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晶圆浮动压板.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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晶圆浮动压板.pdf

    一种晶圆浮动压板，包括底座，所述底座顶部两端焊接立柱，所述立柱一端固定连接电动伸缩杆一端，所述电动伸缩杆另一端连接第一压板一端，所述第一压板另一端固定连接弹簧一端，所述弹簧另一端固定连接第二压板一端，所述第一压板两端开设螺栓槽，所述第二压板两端开设螺纹槽，所述螺栓槽上设有与螺栓槽相匹配的螺栓，本实用新型晶圆浮动压板，解决了目前装置固定效果差，减震效果差，操作复杂，支撑不稳定，加工效果不理想的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215661149 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202022989710.5 (22)申请日 2020.12.14 (73)专利权人 何淑英 地址 51

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