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一种手套箱内清理MO源粉尘的装置.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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一种手套箱内清理MO源粉尘的装置.pdf

    本实用新型提供一种手套箱内清理MO源粉尘的装置，包括手套箱，所述手套箱的左侧设置有两个吸附罐体和真空泵，吸附罐体上均设置有管道I和管道II且从右到左的管道I和管道II上依次设置有调节阀I、调节阀II、调节阀III和调节阀IV，调节阀I和调节阀IV上均设置有管道，调节阀II和调节阀III通过管道相连接，手套箱内设置有横向的波纹软管，波纹软管与手套箱外的管道III相连接，管道III与管道通过设置的调节阀V相连接，真空泵上连接有顶端设置调节阀VI的管道，调节阀IV和调节阀VI通过管道相连接；本实用新型

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215654390 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202021691989.2 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人 安徽亚格盛电子新材料有限公司

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