高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展_李瑜哲.pdfVIP

有机氟工业 2020 2 年第 期 Organo － Fluorine Industry ·25 · 高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展 1 2 1 1 1 李瑜哲 张智勇 艾 波 吴高胜 许保云 (1． ， 200062 ;2 ． ， 20024 1) 上海化工研究院有限公司 上海 上海三爱富新材料科技有限公司 上海 : ， ， 。 、 摘 要 六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体 具有优异的蚀刻性能 且更加环保 简述了六氟丁二烯的物理性质 蚀 ，