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一种微动台及运动装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种微动台及运动装置.pdf

    本实用新型属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种微动台及运动装置。微动台包括：安装基座；垂向驱动装置，安装于安装基座上；垂向底座，套设在垂向驱动装置的外侧，垂向驱动装置的驱动端驱动垂向底座相对安装基座沿Z方向运动；旋转座，可绕Z方向旋转地套设在垂向底座上，且在Z方向上的位置相对垂向底座不变；旋转驱动电机，套设在旋转座的侧面，用于驱动旋转座绕Z方向转动，旋转驱动电机包括同轴间隔套设的旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机动子相对旋转座固定，旋转电机定子相对安装基座固定。运动装置包括上述的微动台。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731649 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121674852.0 (22)申请日 2021.07.22 (73)专利权人 上海隐冠半导体技术有限公司

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