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一种多晶硅反应器沉积载体.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种多晶硅反应器沉积载体.pdf

    本实用新型公开了一种多晶硅反应器沉积载体，包括桥架和两根硅芯；其中，所述桥架两端分别设置有钻孔，并且在每个钻孔所在端部的顶端设置倒角；所述硅芯的一端部呈锥形，并且两根硅芯分别通过呈锥形的端部搭接至所述桥架两端的钻孔中。该实施方式能够解决多晶硅生产成品率低的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668290 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122333856.9 (22)申请日 2021.09.26 (73)专利权人 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责

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