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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型公开了一种双枪蒸发式镀膜室，涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括箱体、箱门、离子源、一组坩埚、一组电子枪和底护板，箱体内下部设有下底板，箱体底部开设有若干第一通孔，下底板上开设有若干第二通孔，若干第二通孔分别与若干第一通孔同心，第一通孔和第二通孔形成倒T形孔，下底板通过第一通孔、第二通孔和螺栓固定在箱体内底部，离子源固定在下底板后部。本实用新型通过在箱体内且与坩埚上表面平行的位置处安装底护板，能够阻隔离子源、坩埚和电子枪产生的废用空间，从而提高一定的镀膜效果和镀膜效率，同时能够对离子源、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713333 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121534731.6
(22)申请日 2021.07.07
(73)专利权人 江苏索腾真空科技有限公司
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