原创力文档- 9
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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型公开了一种化学气相沉积和渗透设备用工装，包括放样架，放样架设有中空结构作为放样平台，放样架设有开口作为进气口，进气口与放样平台连通，进气口长度等于放样平台长度，放样架一端对接导流锥，所述导流锥为圆锥形。反应气体进入高温真空炉内，经导流锥将反应气体从中心导向至导流锥与高温真空炉内炉壁之间并限制在试样架与高温真空炉内炉壁之间的缝隙内流动，之后反应气体从放样架的进气口进入放样架的放样平台，反应气体沿2D或2.5D预制体的层间进入2D或2.5D预制体，可用于限定沉积和渗透过程中进气方向。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713364 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121706839.9
(22)申请日 2021.07.26
(73)专利权人 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公
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